Особенностью ЛШД на аэростатических опорах является отсутствие внешнего демпфирования нагрузки. Поэтому возникает проблема с остановом двигателя в заданной позиции.
Для ее решения устанавливается еще пара блоков работающих с противоположным тяговым усилием.
Современные координатные столы для МЭ могут быть охарактеризованы следующими параметрами:
· При дискретности перемещения 10 мкм максимальная скорость перемещения достигает 500 мм/с при максимальном ускорении до 40 м/с2. При дискретности перемещения 1 мкм максимальная скорость достигает 150 мм/c при наибольшем ускорении до 20 м/с2.
Преимущества:
1. Отсутствие механических контактов.
2. Высокие точности позиционирования.
3. Высокое быстродействие.
4. Простота управления.
5. Отсутствие механических направляющих.
Недостатки:
1. Затруднительная унификация.
2. На воздушной подушке нельзя в вакуум.
3. Трудности с торможением.
ЛИТЕРАТУРА
| 1.Орлов П.И. Основы конструирования. Справочно-методическое пособие. В 2-х кн. Кн.1. /Под ред. П.Н.Учаева. — 3-е изд. испр. — М.: Машиностроение |
| 2.Конструирование приборов: В 2-х кн. /Под ред. В.Краузе; Пер. с нем. В.Н.Пальянова; Под ред. О.Ф.Тищенко. —Кн.1. М.: Машиностроение |
| 3. Конструирование приборов: В 2-х кн. /Под ред. В.Краузе; Пер. с нем. В.Н.Пальянова; Под ред. О.Ф.Тищенко. — Кн.2. М.: Машиностроение |
| 4.Попов В.Ф., Горин Ю.Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии:Учеб. пособие для вузов.— М.: Высш. шк., |