17. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой: Пер. с англ. / Под ред. Р. Бериша. - М.: Мир, 1986. - 488 с.
18. Барвинок В. А. Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий. -М.: Машиностроение, 1990.-384 с.
19. Сулима A.M., Шулов В.А. Ионное легирование конструкционных материалов.// Поверхностный слой, точность, эксплуатационные свойства и надежность деталей машин и приборов. - М.: МДНТП, 1989. -с. 73-78.
20. Никитин А.А., Травина Н.Г. Ионная имплантация металлов и сплавов. // Бюллетень ЦНИИЧ. - 1986. - № 23.
21. Васильева Е.В. Влияние имплантации ионов азота и углерода на стойкость подшипниковой стали // Физика и химия обработки материалов №1. – 1989. с. 43-48.
22. Зеленский В.Ф., Неклюдов И.М., Черняева Т.П. Радиационные дефекты и распухание металлов. - Киев: Наукова думка, 1988. - 296 с.
23. Синебрюхов А.А., Харлов А.В., Бурков П.В. Исследование модификации поверхности быстрорежущей стали под воздействием ионного пучка// Материалы международного научно-технического симпозиума Славянтрибо-4. Трибология и технология. С.-Пб. 1997, Т. 1. с.74-77.
24. Lindhard J., Scharff M., Schiott H.E. - Mat. -Fys. Medd. Dan. Vid. Selsk, 1963, 33, N 14.
25. Lindhard J., Scharff M. - Phys. Rev., 1961, v. 124, p. 128.
26. Каминский М.А. Атомные и ионные столкновения на поверхности металлов. -М.: Мир, 1967. 506 с.
27. Титов В.В. Роль механических напряжений при легировании материалов с помощью ионных пучков. М.: Препринт ИЛЭ им. И.В. Курчатова, 1983. 48с.
28. Бобровский С.М. Повышение эксплуатационных свойств режущего инструмента методом ионной имплантации. Дисс. канд. техн. наук. / Тольятти. – 1998. – 245 с.
29. Смирнов М.Ю. Повышение работоспособности торцовых фрез путем совершенствования конструкций износостойких покрытий: дисс. к.т.н. Ульяновск, 2000. - 232 с., ил.
30. Буренков Л.Ф., Комаров Ф.Ф., Кумахов М.А., Темкин М.М. Таблицы параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей. Минск.: БГУ, 1980. 348 с.
31. Готт Ю.В., Явлинский Ю.Н. Взаимодействие медленных частиц с веществом и диагностика плазмы. М., 1973.
32. Sommerfeld A. - Rend. Acad. Lincei, 1935, 6,759.
33. Caspar R. - Acta Phys. Hung., 1952, 11,151.
34. Teitz T. -Ann. d.Phys., 1955, 15, 186.
35. Wedephol P. - J. Phys., 1968, B1, 307.
36. Белый А.В., Догодейко В.Г., Макушок Е.М., Миневич А.Л. Прогрессивные методы изготовления металлорежущего инструмента. Минск.: БЕЛНИИТИ, 1989. 56 с.
37. Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М. Квантовая механика. М., Физматгиз, 1963.
38. Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М. Механика. М., Физматгиз, 1958.
39. Lindhard J., Nielsen V., Scharff М. Mat.-fys. Medd. Dan. Vid. Sel., 1968, 36, №10.
40. Фирсов О. Б. "Ж. эксперим. и теор. физ.", 1959, 36, 1517.
41. Кишиневский Л. М. "Изв. АН СССР. Сер. физ.", 1962, 26, 1410.
42. Абов Ю.Г., Иванов Л.И., Заболотный В.Т., Суворов А.Л. Динамические процессы при облучении твёрдых тел. Препринт №81. М.: ИТЭФ, 1985. 52 с.
43. Бабаев В.П., Бобков А.Ф., Заболотный В.Т. и др. Каскады атомных столкновений в металлах. М.: Препринт ИТЭФ-110, 1982, 40 с.
44. Иолфи Ф.В. Фазовые превращения при облучении. - Челябинск: Металлургия, 1989.312 с.
45. Искандерова З.А., Раджабов Т.Д., Рахимова Г.Р. Формирование упрочненного приповерхностного слоя с выделениями новой фазы на объемных дефектах при ионной имплантации. Поверхность. - 1985. - №10. с. 115-126.
46. Лейман К. Взаимодействие излучения с твердым телом и образование элементарных дефектов: Пер. с англ.-М.: Атомиздат, 1979. 296 с.
47. Константы взаимодействия металлов с газами: Справ, изд. Коган Я.Д., Колачев Б.А., Левинский Ю.В. и др. - М.: Металлургия, 1987. - 368 с.
48. Бойко В.И., Кадлубович Б.Е., Шаманин И.В. Влияние дефектности структуры металлов на профиль расперделения внедренных ионов. // Физика и химия обработки материалов № 3 - 1991. с. 56-61.
49. Влияние никоэнергетической имплантации на механические свойства сплавов титана и железа. / В.О. Вальднер, В.П. Квядрас и др.// Физика и химия обработки материалов. - 1987. - № 2 -с. 18-24.
50. Бериш Р. Распыление твёрдых тел ионной бомбардировкой. М.: Мир, 1986. Т. 2. 484 с.
51. Баранов И.А., Мартыненко Ю.В., Цепелевич С.О., Явлинский Ю.Н. Неупругое распыление твёрдых тел ионами // УФН. 1988. Т. 156. С. 477-511.
52. Лариков Л.Н., Исайчев В.И. // Диффузия в металлах и сплавах: Справочник. Киев: Наукова думка, 1986. - 565 с.
53. Ноздрин В.Ф., Умеренко С.М., Губенко С.И. О механизме упрочнения металлов при сверхглубоком проникновении высокоскоростных частиц. // Физика и химия обработки материалов № 6 - 1991. с. 73-79.
54. Абдрашитов В.Г., Рыжов В.В., Моделирование распределений ионной имплантации методом Монте-Карло.// Физика и химия обработки материалов № 2 - 1993. с. 22-26.
55. Диденко А.Н., Лигачёв А.Е., Куракин И.Б. Воздействие пучков заряженных частиц на поверхность металлов и сплавов. М.: Энергоатомиздат, 1987. 184 с.
56. Диденко А.Н., Шулов В.А., Ремнев Г.Е., Ночевная Н.А. Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц. Свердловск: ГКНТ СССР, 1991. Т. 3. С. 3.
57. Тушинский Л.И. Теория и технология упрочнения металлических сплавов. - Новосибирск: Наука, 1990. 306 с.
58. Ершов Г.С., Бычков Ю.Г., Физико-химические основы рационального легирования сталей и сплавов М.: Металлургия, 1982. 360 с.
59. Ионное облучение инструмента из быстрорежущей стали. / Н.В. Плешивцев, Д.В. Бондарев, П.П. Сидоров, С.Е. Дукачев, Г.Л. Давыдов // СТИН. - 1994. - № 6. - с. 21-23.
60. Ибрагимов Ш.Ш., Кирсанов В.В., Пятилетов Ю.С. Радиационная повреждаемость металлов и сплавов. М.: Энергоатомиздат, 1985. 240 с.
61. Дидык А.Ю., Регель В.Р., Скуратов В.А., Михайлова Н.Ю. Радиационное упрочнение металлов, облучённых тяжёлыми ионами // ЖТФ. 1989. Т. 59. №5. С. 107-111.
62. Аксёнов А.И., Бугаев С.П., Емельянов В.А. и др. Получение широкоапертурных пучков ионов металлов // ПТЭ. 1987. №3. С. 139-142.
63. Бабаев В.П., Заболотный В.Т., Суворов А.Л. Фокусировка в каскадах атомных столкновений // Вопр. атомной науки и техники. Сер. ФРПРМ. 1985. Вып. 4(37). С. 7-9.
64. Геринг Г. И., Полещенко К.Н., Вершинин Г. А., Поворознюк С. Н., Орлов П.В. Роль диффузионных процессов в повышении износостойкости модифицированных твердых сплавов // Трение и износ, 1998. Т. 19. №4. С. 453-457.
65. Заболотный В.Т., Иванов Л.P, Суворов А.Л. Автоионная микроскопия и фундаментальные аспекты повреждаемости твердых тел. // Физика и химия обработки материалов № 2 - 1994. с. 34-39.
Программа ION_IMPLANTATION, разработанная в среде BorlandC++ для расчёта остаточных концентрационных напряжений в поверхностных слоях материала подложки после имплантации ионов азота
#include <vcl\vcl.h>
#include <stdlib.h>
#include <math.h>
#pragma hdrstop
#include "Main_Form.h"
#include "About.h"
#pragma resource "*.dfm"
TIonImpl *IonImpl;
AnsiString InfoTemp,EInf;
int i,j,k,l,m,n,o,p,ENum=0,EndInf=0,VInf_N,X_coord;
AnsiString SubInf[14][4];
double
LP, AC, AM, AR, Density, IE, IC, IM, IR, INum, IBD, SAD, E_EW, NE_EW, Rmin, IV, E_Step, E_Cntr, E_Int, E_ND, Energy, TgtPrm, TgtPrmRange, TgtPrmMIN, TgtPrmMAX, TPPrc, Rm_Range, Rm_Cntr, Rm_ND, Rm_IL, Rm_SL, Rm_Step, Rm,Differ, DifferTemp, Temp, Temp1, Temp2, Ci, Cv, sigma_max, Ci_max, Cv_max, ro_ND, ro_IL, ro_SL, ro_Range, ro_Cntr, ro_Step, fi, fi_ND, fi_IL, fi_SL, fi_Range, fi_Cntr, fi_Step, fi_Int, lambda, epsilon, ro, alpha, ksi_e, P, B, H, U, r, f_psi_arg, InactE, RelE, E_EW_Int, ShldPrm_tf, ShldPrm_f, func_ls_prm, func_ls, Tmax, psi, psi_S, psi_G, psi_T, psi_W, R, Rp, EW, tau, E_NE, R_sqr, delta_R, delta_Rp, LP_gpu, En=0, En_Temp=0, Rmin_0, VInf[14][3];
const struct EquivalentTable
{
double A, AMU, EV, EC;
} ET = {1E-10,1.66053E-27,1.602192E-19,1.602192E-19};
double ShldPrm0=0.529E-10,eps0=8.85E-12,eps=1,EC=ET.EC,PI=3.14159,V0=2.2E6,Vv_relax=-0.05,Vi_relax=1.10,MU,V_atom,Ed=6.408768E-18;
double fTFF(double R)
{
//Аргумент Фирсова функции экранирования Томаса-Фарми-Фирсова
f_psi_arg=R/ShldPrm_tf;//(Firsov's psi argument)
//Аппроксимации функции экранирования Томаса-Фарми-Фирсова
//Аппроксимация Зоммерфельда
Temp1=f_psi_arg/pow(12,double(2)/double(3));
Temp2=1+pow(Temp1,0.772);
psi_S=pow(Temp2,-3.885);//psi of Sommerfeld
//Аппроксимация Гаспара
Temp1=-0.1837*f_psi_arg;
Temp2=1+1.05*f_psi_arg;
psi_G=exp(Temp1)/Temp2;//psi of Gaspar
//АппроксимацияТейтца
Temp=1+f_psi_arg*pow(PI/double(8),double(2)/double(3));
psi_T=pow(Temp,-2);//psi of Teitz
//АппроксимацияВидефола
Temp=-6.62*pow(f_psi_arg,0.25);
psi_W=317*f_psi_arg*exp(Temp);//psi of Wedephol
//Функция экранирования Томаса-Фарми-Фирсова
psi=psi_T;
return psi;
}
__fastcall TIonImpl::TIonImpl(TComponent* Owner)
: TForm(Owner)
{
}
void __fastcall TIonImpl::About1Click(TObject *Sender)
{
AboutBox->ShowModal();
}
void __fastcall TIonImpl::ResultClick(TObject *Sender)
{
if (EndInf) {ENum=0;VInf_N=0;}
//Get data
//Element Information
Elem_Info->SelectAll(); InfoTemp=Elem_Info->SelText; EInf=InfoTemp;
SubInf[ENum][0]=EInf;
Elem1_Name->Caption=SubInf[0][0];
Elem2_Name->Caption=SubInf[1][0];
Elem3_Name->Caption=SubInf[2][0];
Elem4_Name->Caption=SubInf[3][0];
Elem5_Name->Caption=SubInf[4][0];
Elem6_Name->Caption=SubInf[5][0];
Elem7_Name->Caption=SubInf[6][0];
Elem8_Name->Caption=SubInf[7][0];
Elem9_Name->Caption=SubInf[8][0];
Elem10_Name->Caption=SubInf[9][0];
Elem11_Name->Caption=SubInf[10][0];
Elem12_Name->Caption=SubInf[11][0];
Elem13_Name->Caption=SubInf[12][0];
Elem14_Name->Caption=SubInf[13][0];
//Lattice Parameter 1
LatParam1->SelectAll(); InfoTemp=LatParam1->SelText; LP=InfoTemp.ToDouble();
//Lattice Parameter 2
LatParam2->SelectAll(); InfoTemp=LatParam2->SelText; LP_gpu=InfoTemp.ToDouble();
//Atom Charge
AtomCharge->SelectAll(); InfoTemp=AtomCharge->SelText; AC=InfoTemp.ToDouble();
//Atom Mass
AtomMass->SelectAll(); InfoTemp=AtomMass->SelText; AM=InfoTemp.ToDouble();
//Atom Radius
AtomRadius->SelectAll(); InfoTemp=AtomRadius->SelText; AR=InfoTemp.ToDouble();
//Atoms In Low Level Cell
AILLCell->SelectAll(); InfoTemp=AILLCell->SelText; Density=InfoTemp.ToDouble();
//Ion Energy
IonEnergy->SelectAll(); InfoTemp=IonEnergy->SelText; IE=InfoTemp.ToDouble();
//Ion Charge
IonCharge->SelectAll(); InfoTemp=IonCharge->SelText; IC=InfoTemp.ToDouble();
//Ion Mass
IonMass->SelectAll(); InfoTemp=IonMass->SelText; IM=InfoTemp.ToDouble();
//Ion Radius
IonRadius->SelectAll(); InfoTemp=IonRadius->SelText; IR=InfoTemp.ToDouble();
//Ion Number
IonNum->SelectAll(); InfoTemp=IonNum->SelText; INum=InfoTemp.ToDouble();
//Ion Beam Density
IonBeamDensity->SelectAll(); InfoTemp=IonBeamDensity->SelText; IBD=InfoTemp.ToDouble();
//Processing data
if ((IE<10)&&(IE>0)) VInf_N=IE/1000;
LP*=ET.A; AR*=ET.A; IR*=ET.A;//To Angstrems
AM*=ET.AMU; IM*=ET.AMU;//To Atomic Mass Unit
IE*=ET.EV;//To Electron-Volt
SAD=Density/AM;//Substrate Atoms Density
V_atom=4/3*PI*pow(AR,3);
R=0;Rp=0;delta_R=0;delta_Rp=0;En=0;
ResultData->Lines->Append(InfoField6->Caption);
ResultData->Lines->Append(IE);
//Ion implantation task solution