В табл. 5 приведены результаты сравнения 3х типов литографических процессов. Реальная ширина экспонируемой линии, примерно в 4 раза превышает точность совмещения.
Таблица 2. Сравнение экспонирующего оборудования,
и соответствующих ему шаблонов и резистов.
| Контакт | Электронный луч | Рентгеновское излучение | |
| Минимальный размер | 1 | 5 | 4 |
| Производительность | 4 | 1 | 1 |
| Стоимость и простота шаблона | 2 | 3 | 1 |
| Чувствительность к рельефу | 2 | 4 | 4 |
| Простота резиста и его стоимость | 4 | 1 | 1 |
| Стоимость оборудования | 5 | 1 | 2 |
| Простота управления | 5 | 4 | 3 |
| Восприимчивость к дефектам | 1 | 4 | 4 |
| Перспективы развития для субмикронной литографии | 1 | 5 | 3 |
| Общий балл | 26 | 32 | 26 |
| Место | 4 | 1 | 4 |
Ключом к высокопроизводительной и качественной литографии являются высококачественные стойкие шаблоны, которые способны выдерживать термические и механические напряжения. Возможность изготовления маски с резкостью края лучше чем 1/10 воспроизводимого размера, обеспечения достаточной плоскости шаблона и сохранения ее, а также рисунка неизменным во время экспонирования.
А. И. Курносов, В. В. Юдин – Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем 1986 г.
Ю. В. Панфилов Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы.
ЗАО "Фраст-М" каталог фоторезистов.
ЗАО "Фраст-М" фоторезист позитивный ФП-383 ТУ 2378-005-29135749-2007 характеристики и применение.
Ostec micro каталог продукции – установки для литографических процессов.
Установка отмывки полупроводниковых пластин Ostec ADT 976 руководство по эксплуатации.
Установка нанесения, проявления и снятия фоторезиста Ostec EVG®101 руководство по эксплуатации.
Установка прецизионного двухстороннего совмещения и экспонирования Ostec EVG620 руководство по эксплуатации.
Nikon каталог продукции – Микроскопы для исследования полупроводниковых пластин.
Прямой моторизированный инспекционный микроскоп Nikon Eclipse L200А руководство по эксплуатации.
Sawatec каталог продукции – температурные установки.
Установка сушильная Sawatec HP 150 руководство по эксплуатации.