155, N 7, 1986. - с. 3 - 11.
- 2 -
11. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка ма-
териалов. - М.: Радио и связь. 1986. - 232 с.
12. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной
плазмы для травления и очистки материалов. - М.: Энергоато-
миздат, 1987. - 264 с.
13. Hoh P.D. Quantative particulate contamination studies
utilirinq reduced turbulence pumping and Ventig. // J.Vac.
Sci. and Technol. - V. 2, N 2, 1984. - p. 198.
14. Jolliver D.L. Contamination control: New dimensions in VLSI
manufacturing.// Solid State Tehnol. - 1984,March. - 129 р.
15. Микролитография второй половины 80-х годов. - ЦНИИ "Элект-
роника", вып. 21, 1985. - 5 с.
16. Winkler O. Le developpement de la metallurgie sous vide et
ses perspectives. // Le Vide. - V. 31, N 181, 1976.
17. Пипко А.И. Вакуумно-термическое оборудование в производстве
изделий электронной техники.- М.:Машиностроение,1986.- 55с.
18. Bauer R. Der Vacuumofen-Grundlage wirtschaflicher Warmebe-
handlungsverfahren.// Techn. Zbl. prakt. Metallbearb. - V.
70, N 11, 1976.
19. Ковалев Л.К. Вакуумное оборудование для производства тон-
копленочных структур квантовой электроники. // Обзоры по
ЭТ, серия 11 "Лазерная техника и оптоэлектроника". - 1982,
вып. 2 (886) - 83 с.
20. Розанов Л.Н. Вакуумные машины и установки. - Л.: Машиност-
роение.(Ленингр.отд.), 1975. - 336 с.
21. Саксаганский Г.Л. Вакуумная техника и технология электрофи-
зического аппаратостроения. - М.: ИТР. - Ч. 1., 1989. - 56
с., ч. 2., 1990. - 75 с.
22. Глазков А.А., Малышев И.Ф., Саксаганский Г.Л. Вакуумные
системы электрофизических установок.- М.: Атомиздат,1975.-
- 3 -
288 с.
23. Redhead P.A. Ultrahigh Vakuum applied to physics. // J.
Vac. Sci. and Technol. - V. 13, N 1, 1976.
24. Симонов В.В., Корнилов Л.А., Шашелев А.В., Шокин Е.В. Обо-
рудование ионной имплантации. - М.: Радио и связь, 1988. -
184 с.
25. Бирюкова Н.Е., Виноградов М.И., Данилов Н.Д., Шишловский
С.К. Сверхвысоковакуумный безмасляный агрегат. // Электрон-
ная техника, сер. 7 "Технология, организация производства и
оборудование". - Вып. 1 (98), 1980. - с. 64 - 68.
26. Кузнецова Л.А., Саксаганский Г.Л. и др. Вакуумные системы
экспериментальных термоядерных установок и реакторов с маг-
нитным удержанием. // Обзор ЦНИИ Атоминфор.: ОА-66. - М.:
1984. - 70 с.
27. Грошковский Я. Техника высокого вакуума. - М.: Мир, 1975.
28. Левин А.М. Конструкционные материалы и герметики в вакуум-
ном приборостроении. - М.: Машиностроение, 1986. - 59 с.
29. Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и
расчет вакуумных систем. - М.: Энергия, 1979. - 504 с.
30. Панфилов Ю.В., Рябов В.Т., Цветков Ю.Б. Оборудование произ-
водства интегральных схем и промышленные роботы. - М.: Ра-
дио и связь, 1988. - 320 с.
31. Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Оборудование полупроводникового
производства. - М.: Машиностроение, 1986. - 264 с.
32. Large-area industrial vacuum coation in the 1990 s.: [Pap.]
Prog. 36 th. Nat. Symp. Amer. Vac., Boston Mass, 23 - 27
Oct. 1989. / Johansen Paul R. // J. Vac. Sci. and Technol.
A., 1990. - 8, N 3 - p. 2798 - 2801.
33. Аверина А.П., Лоскутов А.И. Вакуумные аналитические приборы
и оборудование. - М.: Машиностроение, 1986. - 75 с.
- 4 -
34. Некрасов М.И. Учет дестабилизирующего влияния внутрикамер-
ных устройств на технологический процесс напыления в вакуу-
ме. / Межвузовский сборник "Электронное машиностроение, ро-
бототехника, технология ЭВП". - 1986. - с. 43 - 50.
35. Карасев Б.Г., Саксаганский Г.Л. и др. Комплекс экспер мен-
тальных установок для исследования радиационно-вакумных и
физикомеханических характеристик конструкционных материалов
ТЯР. / Сборник "Исследование и разработка материалов для
реакторов термоядерного синтеза". - М.: Наука, 1981, - с.
134 - 137.
36. Александров В.С., Саксаганский Г.Л. и др. Ускорительный
комплекс тяжелых ионов в ОИЯИ. - Дубна: Препринт ОИЯИ:
Р9-83-613, 1983. - 196 с.
37. Vacuum. / Mizobuchi A., Chida K.. // Annu. Rept, Jan. -
Dec. 1989. / Inst. Nucl. Stady Univ. Tokyo. - Tokyo, 1990.
- p. 143 - 144.
38. Денисов А.Г., Кузнецов Н.А., Макаренко В.А. Оборудование
для молекулярно-лучевой эпитаксии. // Обзоры по ЭТ, сер. 7
"Технология, организация производства и оборудование. - N
17 (828), 1981. - 52 с.
39. Саксаганский Г.Л., Котельников Ю.Н., Малев М.Д., Смирницкая
Г.В., Юферов В.Б. Сверхвысокий вакуум в радиационно-физи-
ческом аппаратостроении. - М.: Атомиздат, 1976. - 288 с.
40. Прогресс технологии БИС. // Дэнси дзайре. - Т.23, 1984. - с.30.
41. Уэстон Д. Техника сверхвысокого вакуума. - М.: Мир, 1988. -
365 с.
42. Achievement of extreme high vacuum in the order of 10 Pa .
without baking of test chamber.: [Pap] Proc. 36 th. Nat.
Symp. Amer. Vac. Soc., Boston, Mass., 23 - 27 Oct., 1989/
Kato S., Aono M., Sato K., Baba Y. // J. Vac. Sci. and
- 5 -
Tehnol. A. - 1990. - 8, N 3. - p. 2860 - 2864.
43. Hamacher H. Berechnung des Saugvermogens in
Raumsumulations- . kammern unter Berucksichtigung des
Kaltewandeinflusses. // Vakuumtechnik. - V.25, N 2, 1976.
44. Котельников Ю.Н. Автоматизация вакуумно-технологических
процессов и оборудования.- М.:Машиностроение, 1987. - 55 с.
45. Александрова А.Т., Ермаков Е.С. Гибкие производственные
системы электронной техники. - М.: Высшая школа, 1989. -
319 с.
46. Волчкевич Л.И. Автоматизация производства электронной тех-
ники. - М.: Высшая школа, 1988. - 287 с.
47. Батраков В.Б. и др. Разработка информационного и программ-
ного обеспечений САПР вакуумного оборудования. / В кн."Раз-
работка САПР вакуумного оборудования и САПР систем автома-
тизированного управления". - НТО МИЭМ, N гос.регистрации
01890052063, Деп. ВНТИЦ. Инв. N 02900008823. - М.: 1989. -
8 - 34 с., ДСП.
48. Хруничев Ю.А. Анализ производительности оборудования для
производства электронных приборов./ Межвузовский сборник
"Электровакуумное машиностроение". - М.: Вып. 2, 1978. - с.
9 - 11.
49. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. - М.: Высшая школа, 1984. -
207 с.
50. Александрова А.Т. Математическая модель процеса изменения
концентрации газа в вакуумном объеме при газовыделении из
очага трения. / Межвузовский сборник "Электронное машиност-
роение, робототехника, технология ЭВП". - М.: 1984. - с. 12
- 17.
51. Львов Б.Г. Новые конструкции высоковакуумных прямопролетных
клапанов. - М.: Высшая школа, 1980. - 72 с.
- 6 -
52. Wheeler W.R. Recent developments in metal-sealed gate valves.
// J. Vac. Sci. and Technol. - V. 13, N 1, 1976.
53. Вакуумная техника. Справочник / Под ред. Фролова Е.С., Ми-
найчева В.Е. - М.: Машиностроение, 1985. - 351 с.
54. Львов Б.Г., Шувалов А.С. Техническое обслуживание новой
коммутационно-регулирующей аппаратуры. - М.: Высшая школа,
1987. - 72 с.
55. Рот А. Вакуумные уплотнения. - М.: Энергия, 1971. - 464 с.
56. Вакуумное оборудование. / Каталог. - М.: ЦИНТИхимнефтемаш,
1985. - 60 с., ДСП.
57. Дополнения и изменения к номенклатурному каталогу на осво-
енные и серийно выпускаемые изделия вакуумного машинострое-
ния. - М.: ЦИНТИхимнефтемаш, 1986. - 11с., 1987. - 12 с.,
1988. - 15 с. ДСП.
58. Вакуумная запорная и регулирующая арматура. Справочные ма-
териалы. - М.: ОТЭИНТИ, 1987. - 55 с.
59. Vacuum valves. Каталог фирмы VAT., 1989. - 220 р.
60. Vacuum Equipment. Каталог фирмы PERKIN ELMER, 1988. - 185 р.
61. Vacuum Components. Каталог фирмы BALZERS, 1987. - 300 р.
62. Ventile. Каталог фирмы LEYBOLD-HERAUES, 1989. - 35 р.
63. Вакуумная техника. Каталог компонентов фирмы Alcatel, 1986. -
245 с.
64. Vacuum Valves. Информационно-справочные материалы фирмы
Alcatel, 1989. - 12 р.
65. Vannes d'equeppe. Информационно-справочные материалы фирмы
Alkatel, 1987. - 4 р.
66. UHN Components. Каталог фирмы VACUUM GENERATORS, 1989. - 40 р.
67. Львов Б.Г., Шувалов А.С. Современные сверхвысоковакуумные
уплотнения. - М.: Высшая школа, 1984. - 71 с.
68. Chernatony L. Recent advances in elastomer technology vor
- 7 -
UHV application. // Vakuum. - V. 27, N 10, 1978.
69. Гойхман У.М., Антонов Б.Н. О газопроницаемости некоторых
резин. // Каучук и резина. - N 7, 1976.
70. Домрачев С.Н., Моисеев В.Я., Саксаганский Г.Л. Конструиро-
вание разъемных вакуумных соединений с металлическими уп-
лотнителями. // Электронная техника., сер. 4 "Электроваку-
умные и газоразрядные приборы". - Вып. 3,1975. - с. 67-75.
71. Романенко Н.Т. Агрегаты пневматических систем летательных
аппаратов. - М.: Машиностроение, 1976. - 98 с.
72. Бушенин Д.В., Марусев В.А. Новые виды сильфонных уплотнений
в вакуумной арматуре. - Владимир, 1982. - 88 с.
73. Медников М.И. Вводы движения в вакуум. - М.: Машиностроение,
1974. - 180 с.
74. Деулин Е.А. и др. Расчет, конструирование и особенности
эксплуатации механизмов для работы в вакууме. - М.: Маши-
ностроение, 1986. - 79 с.
75. Wheeler W.R. High vacuum gate valves. Пат. США, кл.
251-204, N 3973753, 1976.
76. Дривинг Н.Я., Назаров Л.Н. Сверхвысоковакуумный затвор про-
извольной ориентации с использованием легкоплавкого уплот-
нителя. / Межвузовский сборник "Электронное машиностроение,
робототехника, технология ЭВП". - М.: 1986. - с. 96 - 101.
77. Усов В.В., Гутник Г.Н. К вопросу об унификации некоторых
вакуумных изделий в ХФТИ. / Сборник "Вопросы атомной науки
и техники". Сер. "Физика и техника высокого вакуума". -
Харьков: вып. 1, 1974.
78. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. - М.: Высшая школа, 1990. -
319 с.
79. Verfahren zum Abdichten von Hochvakuumverbindungen und
komponenten im Anlagenban.: Пат. 281229 ГДР, МКИ .
- 8 -
F16V15/08 / Appel Fritj, Akademie der Wissenshaften der
DDR. N 3272353. Заявл. 4.04.89. Опубл. 1.08.90.
80. Батраков В.Б., Львов Б.Г., Шувалов А.С. Структур-
но-конструктивная классификация высоковакуумных клапанов и
затворов. / Тезисы докл. V Всесоюз. конференции "Физика и
техника высокого и сверхвысокого вакуума", ч. II. - Л.:
1985. - с. 134 - 135.
81. Батраков В.Б., Львов Б.Г. Анализ математических методов ав-
томатизации поискового конструирования и метод выбора тех-
нических объектов для САПР в ГАП. / В кн. "Разработка тео-
ретических основ проектирования ГАП". - НТО МИЭМ, N Гос.
регистрации 01840047750. Деп. ВНТИЦ. Инв. N 02850050183. -
М.: 1984, с. 4 - 31. ДСП.
82. Половинкин А.И. Методы инженерного творчества. - Волгоград,
1984. - 365 с.
83. Вермишев Ю.Х. Методы автоматического поиска решений при
проектировании сложных технических систем. - М.: Радио и
связь, 1982. - 152 с.
84. Батищев Д.И. Поисковые методы оптимального проектирования.
- М.: Советское радио, 1975. - 216 с.
85. Одрин В.М., Картавов С.С. Морфологический анализ систем.
- Киев: Наукова думка, 1977. - 147 с.
86. Альтшуллер Г.С. Творчество как точная наука. - М.: Со-
ветское радио, 1979. - 175 с.
87. Мюллер И. Эвристические методы в инженерных разработках.