Ïðåäâàðèòåëüíàÿ ïîäãîòîâêà ñëèòêà çàêëþ÷àåòñÿ â êàëèáðîâêå åãî íàðóæíîãî äèàìåòðà äî çàäàííîãî ðàçìåðà, ñòðàâëèâàíèè íàðóøåííîãî ñëîÿ, èçãîòîâëåíèè áàçîâûõ è äîïîëíèòåëüíûõ ñðåçîâ, ïîäãîòîâêå òîðöîâûõ ïîâåðõíîñòåé ñ çàäàííîé êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîé îðèåíòàöèåé. Çàòåì ðàçäåëÿþò ñëèòîê íà ïëàñòèíû îïðåäåëííîé òîëùèíû. Öåëüþ ïîñëåäóþùåãî øëèôîâàíèÿ ÿâëÿ åòñÿ âûðàâíèâàíèå ïîâåðõíîñòè îòðåçàííûõ ïëàñòèí, óìåíüøåíèå ðàçáðîñà èõ òîëùèí, ôîðìèðîâàíèå îäíîðîäíîé ïîâåðõíîñòè. Ôàñêè ñ îñòðûõ êðîìîê ïëàñòèí ñíèìàþò äëÿ òîãî, ÷òîáû óäàëèòü ñêîëû, îáðàçóþùèåñÿ ïðè ðåçêå è øëèôîâàíèè. Êðîìå òîãî, îñòðûå êðîìêè ïëàñòèí ÿâëÿþòñÿ êîíöåíòðàòîðàìè íàïðÿæåíèé è ïîòåíöèàëüíûìè èñòî÷íèêàìè ñòðóêòóðíûõ äåôåêòîâ, êîòîðûå ìîãóò âîçíèêíóòü ïðè ïåðåêëàäûâàíèè ïëàñòèí è ïðåæäå âñåãî ïðè òåðìè÷åñêèõ îáðàáîòêàõ (îêèñëåíèè, äèôôóçèè, ýïèòàêñèè).
Õèìè÷åñêèì òðàâëåíèåì óäàëÿþò íàðóøåííûå ïðèïîâåðõíîñòíûå ñëîè, ïîñëå ÷åãî ïîëèðóþò îáå ñòîðîíû ïëàñòèí èëè òó ñòîðîíó, êîòîðàÿ ïðåäíàçíà÷åíà äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ñòðóêòóð ïðèáîðîâ. Ïîñëå ïîëèðîâàíèÿ ïëàñòèíû î÷èùàþò îò çàãðÿçíåíèé, êîíòðîëèðóþò è óïàêîâûâàþò.
Ïðè èçãîòîâëåíèè ïðèáîðîâ ñïîñîáàìè íàèáîëåå ðàñïðîñòðàíåííîé ïëàíàðíîé òåõíîëîãèè è åå ðàçíîâèäíîñòåé èñïîëüçóþò òîëüêî îäíó, òàê íàçûâàåìóþ ðàáî÷óþ ñòîðîíó ïëàñòèíû. Ó÷èòûâàÿ çíà÷èòåëüíóþ òðóäîåìêîñòü è âûñîêóþ ñòîèìîñòü îïåðàöèé ïî ïîäãîòîâêå âûñîêîêà÷åñòâåííûõ ïëàñòèí ñ áåçäåôåêòíîé ïîâåðõíîñòüþ, íåêîòîðûå âàðèàíòû èçãîòîâëåíèÿ ïëàñòèí ïðåäóñìàòðèâàþò íåñèììåòðè÷íóþ, ò. å. íåîäèíàêîâóþ, îáðàáîòêó èõ ñòîðîí. Íà íåðàáî÷åé ñòîðîíå ïëàñòèíû îñòàâëÿþò ñòðóêòóðíîäåôîðìèðîâàííûé ñëîé òîëùèíîé 5-10 ìêì, êîòîðûé îáëàäàåò ñâîéñòâàìè ãåòòåðà, ò. å. ñïîñîáíîñòüþ ïîãëîùàòü ïàðû è ãàçû èç êîðïóñà ïîëóïðîâîäíèêîâîãî ïðèáîðà ïîñëå åãî ãåðìåòèçàöèè çà ñ÷åò î÷åíü ðàçâèòîé ïîâåðõíîñòè.
Äèñëîêàöèîííàÿ ñòðóêòóðà ñëîÿ, îáðàùåííàÿ ê ðàáî÷åé ïî âåðõíîñòè ïëàñòèíû, îáëàäàåò ñïîñîáíîñòüþ ïðèòÿãèâàòü è óäåðæèâàòü ñòðóêòóðíûå äåôåêòû èç îáúåìà ïîëóïðîâîäíèêîâîãî êðèñòàëëà, ÷òî çíà÷èòåëüíî ïîâûøàåò íàäåæíîñòü è óëó÷øàåò ýëåêòðî-ôèçè÷åñêèå ïàðàìåòðû ïðèáîðîâ. Îäíàêî íåñèììåòðè÷íàÿ îáðàáîòêà ñòîðîí ïëàñòèí ñîçäàåò îïàñíîñòü èõ èçãèáà. Ïîýòîìó ãëóáèíó íàðóøåíèé íà íåðàáî÷åé ñòîðîíå ñëåäóåò ñòðîãî êîíòðîëèðîâàòü.
Èñïîëüçîâàíèå â ïîëóïðîâîäíèêîâîì ïðîèçâîäñòâå ïëàñòèí ñòàíäàðòèçîâàííûõ ðàçìåðîâ ïîçâîëÿåò óíèôèöèðîâàòü îáîðóäîâàíèå è îñíàñòêó íà âñåõ îïåðàöèÿõ, íà÷èíàÿ îò èõ ìåõàíè÷åñêîé îáðàáîòêè è çàêàí÷èâàÿ êîíòðîëåì ïàðàìåòðîâ ãîòîâûõ ñòðóêòóð.  îòå÷åñòâåííîé è çàðóáåæíîé ïðîìûøëåííîñòè íàøëè ïðèìåíåíèå ïëàñòèíû äèàìåòðîì 40, 60, 76, 100, 125, 150 è 200 ìì. Äëÿ ïîëó÷åíèÿ ïëàñòèíû çàäàííîãî äèàìåòðà îñóùåñòâëÿþò êàëèáðîâêó âûðàùåííîãî ïðîâîäíèêîâîãî ìîíîêðèñòàëëè÷åñêîãî ñëèòêà.