Ïëàçìåííîå òðàâëåíèå, îòíîñÿùååñÿ ê òàê íàçûâàåìûì “ñóõèì” cïîñîáàì î÷èñòêè, ïðîâîäÿò ÷àùå âñåãî â ïëàçìå êèñëîðîäà, êîòîðàÿ ïåðåâîäèò ïîâåðõíîñòíûå çàãðÿçíåíèÿ â ëåòó÷èå êîìïîíåíòû.
Âàæíîé ÿâëÿåòñÿ îïåðàöèÿ êîíòðîëÿ ÷èñòîòû ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí, ïîñêîëüêó òîëüêî îíà ìîæåò ïîêàçàòü, íàñêîëüêî ýôôåêòèâíû ïðîöåññû î÷èñòêè è ïðèãîäíû î÷èùåííûå ïëàñòèíû ê ïåðåäà÷å äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ïðèáîðîâ.
Îñíîâíûìè ìåòîäàìè êîíòðîëÿ ÷èñòîòû ïîâåðõíîñòè ÿâëÿþòñÿ: ìåòîäû, îñíîâàííûå íà èçìåíåíèè åå ñìà÷èâàåìîñòè, ìèêðîñêîïè÷åñêèå, ôîòîìåòðè÷åñêèå è ñïåêòðàëüíûå.
Ïðè îêóíàíèè ïëàñòèíû â äåèîíèçîâàííóþâîäó èëè ðàñïûëåíèè âîäû íà âëàæíóþ ïîâåðõíîñòü ïëàñòèíû íà çàãðÿçíåííûõ ó÷àñòêàõ íå îáðàçóåòñÿ ðàâíîìåðíîãî ñëîÿ âîäû. Ìåòîäû, îñíîâàííûå íà èçìåíåíèè ñìà÷èâàåìîñòè, ïðîñòû, íàãëÿäíû, íî íåäîñòàòî÷íî ÷óâñòâèòåëüíû.
Ìèêðîñêîïè÷åñêèå ìåòîäû îñíîâàíû íà íàáëþäåíèè ïîâåðõíîñòè â ñâåòëîì èëè òåìíîì ïîëå îïòè÷åñêîãî ìèêðîñêîïà, à òàêæå ñ ïîìîùüþ ýëåêòðîííîãî ìèêðîñêîïà. Ïðè íàáëþäåíèè â òåìíîì ïîëå èñïîëüçóåòñÿ êîñîå îñâåùåíèå, èñêëþ÷àþùåå ïîïàäàíèå â îáúåêòèâ çåðêàëüíî îòðàæåííûõ îò ïîâåðõíîñòè ëó÷åé.  ýòîì ñëó÷àå âûÿâëÿþòñÿ îñòàòêè îðãàíè÷åñêèõ ðàñòâîðèòåëåé, êîòîðûå îáðàçóþò õàðàêòåðíûå óçîðû. óçîðû. Çàãðÿçíåíèÿ è äåôåêòû íà ïîâåðõíîñòè ïîëèðîâàííûõ ïëàñòèí àñòèí íàáëþäàþòñÿ â âèäå ñâåòÿùèõñÿ òî÷åê. Èõ ïîäñ÷åò íà åäèíèöå ïëîùàäè ïëàñòèíû âåäóò ïðè óâåëè÷åíèè â 50-400 ðàç.
Ôîòîìåòðè÷åñêèå, ñïåêòðàëüíûå, à òàêæå äðóãèå ìåòîäû êîíòðîëÿ- ÷èñòîòû ïîâåðõíîñòè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí â ïðîéûøëåííîñòè øèðîêîãî ðàñïðîñòðàíåíèÿ íå ïîëó÷èëè. Äëÿ îáåñïå÷åíèÿ òðåáóåìîé ÷èñòîòû ïîâåðõíîñòè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí (êðîìå ïðîöåññîâ î÷èñòêè) â ìàñøòàáàõ ïðåäïðèÿòèÿ îñóùåñòâëÿåòñÿ öåëûé ðÿä îðãàíèçàöèîííûõ è ñàíèòàðíî-ãèãèåíè÷åñêèõ ìåðîïðèÿòèé. Îáÿçàòåëüíûì óñëîâèåì ïîëó÷åíèÿ êà÷åñòâåííûõ ïëàñòèí ÿâëÿåòñÿ ïðîâåäåíèå êàæäîé îïåðàöèè íà èçîëèðîâàíííûõ äðóã îò äðóãà ïðîèçâîäñòâåííûõ ó÷àñòêàõ. Ýòî èñêëþ÷àåò ïîïàäàíèå áîëåå êðóïíûõ àáðàçèâîâ ñ îïåðàöèé ãðóáûõ ïðåäâàðèòåëüíûõ îáðàáîòîê â ïîìåùåíèÿ, ãäå îñóùåñòâëÿåòñÿ äîâîäêà. Öåëåñëëáðàçíî òàêæå âíóòðè ó÷àñòêà çàêðåïëÿòü êîíêðåòíîå îáîðóäîâàíèå çà îïåðàöèÿìè, îòëè÷àþùèìèñÿ ñîñòàâîì èñïîëüçóåìûõ ñóñïåíçèé.
Ó÷àñòêè ïî èçãîòîâëåíèþ ïëàñòèí ðàñïîëàãàþòñÿ â ïîìåùåíèÿõ, îòâå÷àþùèõ òðåáîâàíèÿì ïåðâîé êàòåãîðèè âàêóóìíîé ãèãèåíû, ñîãëàñíî êîòîðûì â 1 ë âîçäóõà íå äîïóñêàåòñÿ ïðèñóòñòâèå áîëåå 70 ÷àñòèö êðóïíåå 1 ìêì.  ýòèõ ïîìåùåíèÿõ ñîçäàþò çàùèòíûå ãîðèçîíòàëüíûå ëàìèíàðíûå ïîòîêè î÷èùåííîãî âîçäóõà, êîòîðûå ïðåïÿòñòâóþò ïîïàäàíèþ èíîðîäíûõ ÷àñòèö â ðàáî÷èå çîíû îáîðóäîâàíèÿ  êà÷åñòâå äîïîëíèòåëüíîé ìåðû, ïðåïÿòñòâóþùåé ïîïàäàíèþ ÷àñòèö, èç âîçäóõà íà ïîëèðîâàëüíèêè ñòàíêîâ ôèíèøíîãî è ñóïåðôèíèøíîãî ïîëèðîâàíèÿ, óñòàíàâëèâàþò ñïåöèàëüíûå çàùèòíûå êîëïàêè èç ïðîçðà÷íîãî ïëàñòèêà. Ðàáî÷èé ïåðñîíàë ýòèõ ó÷àñòêîâ îáåñïå÷èâàåòñÿ ñïåöîäåæäîé è ñïåöîáóâüþ, ñîçäàþùåé ìèíèìàëüíîå êîëè÷åñòâî çàãðÿçíåíèé. Êðîìå òîãî, îãðàíè÷èâàåòñÿ èñïîëüçîâàíèå ðàáîòíèêàìè êîñìåòè÷åñêèõ ñðåäñòâ.